1.直線模組的定位精度：將直線模組的峰值行程定義為基準長度，從基準方位開始實踐移動的間隔和指令值之間差錯的定值開始定義。

2.直線模組重復定位精度：將模組設定一個運行停止位置，多次運行定位過去產生的誤差。

3.直線模組運行平行度：模組在設定的條件下運行，滑動座運動的平面與水平面之間的高度誤差。

4.直線模組運行直線度：模組在設定的條件下運行，滑動座的運行軌跡偏離直線的距離誤差。

 以上幾種測量精度的方法，目的就是盡量將精度差值降低到較小。 

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