
美慌得一米,國產直線模組刻蝕機達到先進水平
美慌得一米,國產直線模組刻蝕機達到先進水平。前段時間有個大熱的梗,我是梅西,我現在慌得一逼;由這個梗網友衍生出很多搞笑段子,我是梅業績,我現在慌得一米;我是梅飯吃,我現在慌得一米。當下這位慌得一米的是近期跟我國打貿易戰的美,因為國產直線模組刻蝕機達到先進水平,美被迫放棄對中國禁運刻蝕機。
刻蝕,英文為Etch,它是半導體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟,是與光刻相聯系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。隨著微制造工藝的發展,廣義上來講,刻蝕成了通過溶液、反應離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種統稱,成為微加工制造的一種普適叫法。
刻蝕機的工作原理可以分為干刻、濕刻兩大類。其中濕刻是將硅片浸泡在可以與被刻蝕膜層反應的化學液體中,除去不需要的部分,是早期工藝采用較多的方法。不過,濕刻不可避免的會在刻蝕的側壁形成橫向鉆蝕,無法很好的控制線寬,所以,在工藝達到微米級以后,生產中更多的是采用沒有液體參與的干刻技術,如直直線模組激光刻蝕機。
直線模組激光刻蝕適用與晶硅效率高太陽能電池片邊緣絕緣線的刻蝕,設備一般采用效率高的激光器、大理石加工機座、自動上下料機構、直線模組工作平臺、CCD視覺定位,實現離線全自動封閉式的效率高的太陽能電池片的邊緣絕緣刻蝕加工。
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