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美慌得一米,國產直線模組刻蝕機達到先進水平

文章出處:同茂電子人氣: 發布時間:2018/7/26 9:23:51

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,英文Etch,它是半體制造工,微IC制造工以及微制造工中的一種相當重要的步,是與光刻系的形化(pattern)理的一種主要工。隨著微制造工展,廣上來,刻成了通溶液、反離子或其它機械方式來剝離、去除材料的一種稱,成微加工制造的一種普適叫法。

機的工作原理可以分干刻、濕刻兩大類。其中濕刻是將硅片浸泡在可以與被刻的化學液體中,除去不需要的部分,是早期工采用多的方法。不,濕刻不可避免的會在刻壁形成橫向鉆蝕,無法很好的控制線寬,所以,在工達到微米以后,生中更多的是采用沒有液體參與的干刻技,如直激光刻蝕機。

激光刻蝕適用與晶硅效率高太陽能電池片邊緣絕緣線的刻蝕,設備一般采用效率高的激光器、大理石加工機座、自動上下料機構、工作平臺、CCD視覺定位,實現離線全自動封閉式的效率高的太陽能電池片的邊緣絕緣刻蝕加工。

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